Polimetilmetakrilāta mikrodiska rezonatora lāzera izstrāde un īpašību raksturošana

Salīdzinot ar tradicionālajām cietvielu lāzeru pusvadītāju ierīcēm,no polimēriem izgatavotiem lāzeriem ir vairākas priekšrocības. Tiem ir vienkārša izgatavošana, plašs iespējamais krāsvielu piejaukumu klāsts, augsta mehāniskā izturība un tie ir savietojami ar bioloģiskām sistēmām. Darbā tika izstrādātas krāsvielu vai mazmolekulāru savienojumu piejaukumu PMMA mikrodisku sērijas ar divu veidu metodēm - elektronu staru litogrāfiju un ultravioleto fotolitogrāfiju kombinācijā ar reaktīvo jonu kodināšanu. Izmantojot optisko un elektronu mikroskopu, tika izvērtēta iegūto polimēru struktūru kvalitāte atkarībā no tādiem procesu parametriem kā UV un elektronu staru kūļa doza, rezistu attīstīšanas ilg…