6533b7d0fe1ef96bd125a806

RESEARCH PRODUCT

Pusvadītāju nanovadu elektromehānisku sistēmu izveide un darbības izpēte

Raimonds Meija

subject

Fizika

description

Nanoelektromehāniskās sistēmas (NEMS) ir perspektīvas pielietošanai rezonatoros, sensoros, slēdžos u.c. Lai arī ir plaši pētīti NEM slēdži, kur pārslēgšanas operāciju veikšanai izmanto aizvara elektrodu, slēdži bez tā ir perspektīvāki integrācijas ziņā, tiesa, to darbības optimizācija ir maz pētīta. Darbā pētīta iespēja izveidot multipozicionāla slēdža bez aizvara elektroda prototipu un parādīt adhēzijas samazināšanās metodes. Tika izveidota sistēma in situ mērījumu veikšanai skenējošajā elektronu mikroskopā. Darbā prezentēta adhēzijas samazināšana, izmantojot oscilējošu elektrisko lauku, kā arī demonstrēts nanovada slēdža prototips, kur nanovads tiek pārslēgts starp diviem elektrodiem. Veikta eksperimentālo datu salīdzināšana ar teorētiskajiem, kā arī piedāvāts slēdža darbības fizikālais modelis. Atslēgvārdi: nanovads, slēdzis, adhēzija.

https://dspace.lu.lv/dspace/handle/7/15201