6533b822fe1ef96bd127d0b5

RESEARCH PRODUCT

Kausējuma kustības ietekmes uz zonas formu rūpnieciskās kristālu audzēšanas peldošās zonas procesā modelēšana

subject

description

Darbā tiek modelēts silīcija monokristālu audzēšanas process ar peldošās zonas adatas acs metodi, izmantojot specializētu programmu fZone, kas ir verificēta liela diametra (4''-8'') kristālu audzēšanai ar ātrumiem līdz 4 mm/min. Atbilstoši Berlīnē veiktajai eksperimentu sērijai tiek veikti kausējuma zonas formas skaitliskie aprēķini relatīvi mazai 2'' sistēmai ar lieliem augšanas ātrumiem 5-8 mm/min gan neņemot, gan ņemot vērā kausējuma kustības ietekmi uz zonas formu. Analizējot HD ietekmi, tiek parādīts, ka konvektīvā siltuma pārnese kausējumā var būtiski ietekmēt temperatūras lauku un fāzu robežu formu. Aprēķinos iegūtie kristalizācijas frontes dziļumi tiek salīdzināti ar eksperimentālajiem mērījumiem, tiek parādīta divu skaitlisko atrisinājumu iespēja.