6533b854fe1ef96bd12aedfa

RESEARCH PRODUCT

Pusvadītāju nanovadi izmantošanai spēka un masas sensoros

Raimonds Meija

subject

Fizika

description

Nanoelektromehāniskās sistēmas (NEMS) ir perspektīvas pielietošanai spēka un masas sensoros. Lai arī ar NEM ierīcēm ir nosvērti individuāli atomi, nav demonstrēta kontrolēta masas uznešana uz aktīvā elementa, kas ļautu nosvērt objektus kvalitatīvi. Spēka kontrole ir arī nepieciešama NEM slēdžos, kuru darbību nosaka eletriskie, adhēzijas un van der Vālsa spēki. Šajā darbā tika pētītas Ge un ZnO nanovadu īpašības, lai noteiktu to izmantošanas robežas.Tika izveidota sistēma in situ mērījumu veikšanai skenējošā elektronu mikroskopā. Tika noteikts ZnO nanovadu Junga modulis un tā atkarība no nanovada diametra. Izpētītas Ge nanovadu elektriskās īpašības un to degradācijas parametri. Novērota kritiskās strāvas blīvuma atkarība no to aptverošā oksīda slāņa biezuma. Apspriests iespējamais nanovadu degradācijas mehānisms.

https://dspace.lu.lv/dspace/handle/7/17527