6533b857fe1ef96bd12b492f
RESEARCH PRODUCT
SU-8 viļņvadu optiskā gāzu sensora izveide ar optiskās litogrāfijas tehniku un tā optisko īpašību raksturošana
Anete Bērziņasubject
optiskā litogrāfijastrūkldrukas metodeFizikatermiskā stabilitāteorganiskie materiālidescription
Pieaugot rūpēm par vides kvalitāti gan darbā, gan mājās, aktuāls paliek jautājums par gaisa kvalitātes uzraudzīšanu, kas iekļauj sevī dažādas toksiskas gāzes. Organisko materiālu optiskie gāzu sensori ir labāki par šobrīd izmantotajiem pusvadītāju gāzu sensoriem, jo tie ir lētāki un izturīgi pret gāzēm, kas degradē metālus. Šajā darbā tika pētītas iespējas veidot gāzu sensoru, no SU-8 viļņvadiem ar porainu polimēru pārklājumu. Tika izveidota asimetriska Maha-Cendera interferometra viļņvadu struktūra ar optiskās litogrāfijas metodi no SU-8 fotorezista un testēta organisku pārklājumu veidošana ar strūkldrukas metodi. Rezultātā tika iegūtas optimālas kvalitātes SU-8 viļņvadu struktūras, ko var izmantot optiskā gāzu sensora veidošanai kā arī pārbaudīta struktūru termiskā stabilitāte.
| year | journal | country | edition | language |
|---|---|---|---|---|
| 2021-01-01 |