Search results for "3D-lithography"

Fabrication of a gap structure for near-field heat transfer

2016

Tutkimuksessa kehitettiin kahden vaiheen valmistusprosessi rakorakenteen valmistamiseen, jossa on metallista valmistetut johdot. Tämä rakorakenne on tarkoitettu lähikentän lämmönsiirtymisen mittaamiseen. Valmistus tehtiin pääasiassa 3D-litografialla käyttämällä Nanoscribe Photonic Professional -järjestelmää. Valmistukseen sisältyi myös ALD (Atomic Layer Deposition), metallipäällystys höyrystämällä, lift-off ja ionisuihkujyrsintä. Valmistettu rakenne koostuu kahdesta suorakulmaisesta särmiöstä lähellä toisiaan, jotka muodostavat ripustetun yhdensuuntaisten tasojen geometrian. Särmiöiden päälle tehdyt metalloinnit koostuivat ohuesta kultalangasta, joka voi toimia resistiivisenä lämpömittarina…