Search results for "leviämisvastus"

Mikrokokoistetut leviämisvastus- ja nelipisteanturimittaukset puolijohderakenteen varauksenkuljettajien syvyysjakaumien määrittämisessä

2013

Entistä pienemmät puolijohderakenteet vaativat analyysityökaluilta erittäin hyvää herkkyyttä, jonka on myös kehityttävä rakenteiden vaatimusten mukaisesti -- muussa tapauksessa kehitys voi hidastua hyvin paljon ilman kunnollista tietoa valmistusmenetelmien tuloksista. Yksi oleellinen osa rakenteiden analysoimisessa on tieto seostusatomien ja varauksenkuljettajien pitoisuuksista rakenteen syvyyssuunnassa, eli syvyysjakauma. Vuosikymmeniä syvyysjakauman mittaukseen on käytetty leviämisvastusmittausta (SRP, engl. Spreading Resistance Profiling), ja nelipisteanturimittausta (4PP, engl. Four Point Probe) on käytetty kuvaamaan koko syvyysjakauman vaikutusta sähköisessä kontaktissa. Molempien tekn…