Volframa pārklājumu termiska modificēšana detektēšanai ar infrasarkanās spektrometrijas metodi

2022

Volframa pārklājumu termiska modificēšana detektēšanai ar infrasarkanās spektrometrijas metodi. Goldmane A. E., zinātniskā vadītāja, pētniece, Avotiņa L. Bakalaura darbs, 36 lpp, 15 attēli, 4 tabulas, 56 literatūras avoti, 6 pielikumi. Latviešu valodā. Pusvadītāju tehnoloģijas mūsdienās lieto dažāda veida elektronikai. Materiālu atbilstību parametriem nosaka ražošanas gaitā – nepieciešams izstrādāt metodoloģiju to izvērtēšanai. Darbā veikta uz silīcija (Si) – silīcija dioksīda (SiO2) pamatnes sintezēta volframa (W) pārklājumu termiska modificēšana un izpēte ar FTIR, XRD, SEM-EDS metodi. Modificētu pārklājumu spektros ir papildus signāli 700-900 cm-1, kas attiecināmi uz W-skābekļa saitēm; kr…