6533b7dbfe1ef96bd1270f2f
RESEARCH PRODUCT
Volframa pārklājumu termiska modificēšana detektēšanai ar infrasarkanās spektrometrijas metodi
Annija Elizabete Goldmanesubject
SEM-EDSTERMISKA MODIFICĒŠANAVOLFRAMSFTIRPLĀNĀS KĀRTIŅASĶīmijadescription
Volframa pārklājumu termiska modificēšana detektēšanai ar infrasarkanās spektrometrijas metodi. Goldmane A. E., zinātniskā vadītāja, pētniece, Avotiņa L. Bakalaura darbs, 36 lpp, 15 attēli, 4 tabulas, 56 literatūras avoti, 6 pielikumi. Latviešu valodā. Pusvadītāju tehnoloģijas mūsdienās lieto dažāda veida elektronikai. Materiālu atbilstību parametriem nosaka ražošanas gaitā – nepieciešams izstrādāt metodoloģiju to izvērtēšanai. Darbā veikta uz silīcija (Si) – silīcija dioksīda (SiO2) pamatnes sintezēta volframa (W) pārklājumu termiska modificēšana un izpēte ar FTIR, XRD, SEM-EDS metodi. Modificētu pārklājumu spektros ir papildus signāli 700-900 cm-1, kas attiecināmi uz W-skābekļa saitēm; kristalogrāfiskā struktūra uzrāda W trioksīda klātbūtni; SEM-EDS apstiprina virsmas slāņu izmaiņas. VOLFRAMS, PLĀNĀS KĀRTIŅAS, FTIR, SEM-EDS, TERMISKA MODIFICĒŠANA
| year | journal | country | edition | language |
|---|---|---|---|---|
| 2022-01-01 |