0000000000992815
AUTHOR
Mārtiņš Zubkins
showing 3 related works from this author
Magnetronu uzputināšanas procesu izstrāde p un n tipa caurspīdīgu, elektrovadošu slāņu iegūšanai uz ZnO bāzes
2013
Pārklājumi uz cinka oksīda bāzes ir caurspīdīgi, elektrovadoši materiāli. Visbiežāk lietotais caurspīdīgais, elektrovadošais oksīds (TCO) optiskā elektronikā ir indija alvas oksīds (ITO), kuram strauji pieaug tirgus cena. Ar alumīniju leģēts cinka oksīds (AZO) ir potenciāli labākais ITO aizstājējs, tomēr tas vēl nav sasniedzis ITO raksturīgās īpašības. Papildus problēma optiskās elektronikas attīstībā ir p-tipa TCO trūkums. Darba mērķis bija izpētīt AZO un Zn-Ir-O pārklājumu strukturālās, optiskās un elektriskās īpašības atkarībā no izgatavošanas parametriem. AZO ir n-tipa vadītājs, bet Zn-Ir-O tiek pētīts kā potenciāls p-tipa vadītājs. Pārklājumu iegūšanai tika izmantota reaktīvā līdzstrāv…
Vakuumtehnoloģisko procesu izstrāde caurspīdīgu elektrovadošu slāņu ar noteiktām īpašībām iegūšanai
2011
Plānu pārklājumu uzklāšana uz dažādiem izstrādājumiem tiek izmantota daudzās tehnikas nozarēs. Magnetronā uzputināšanas metode vakuumā ir viena no populārākajām. Plānu pusvadītāju uznešanas jomā perspektīvākie ir caurspīdīgie, elektrību vadošie oksīdi (TCO) uz metāla bāzes. Ar alumīniju leģētais cinka oksīds (AZO) ir alternatīva dārgajam ar alvu leģētajam indija oksīdam (ITO). Labus rezultātus var sasniegt, izputinot oksīdu no keramiska mērķa, bet tie ir dārgi, tādēļ tiks attīstīta tehnoloģija, kurā izmanto metāla mērķi un reaktīvu gāzi, kas padara procesu lētāku. Mērķis ir izveidot tehnoloģiju, ar ko var iegūt AZO ar labām elektriskām un optiskām īpašībām. Procesa vadīšana notiks ar plazma…
Caurspīdīgu un elektrovadošu pārklājumu uz ZnO bāzes izgatavošanas procesa izstrāde un īpašību pētījumi
2018
Caurspīdīgās un elektrovadošās oksīdu (TCO) kārtiņas tiek izmantotas opto-elektronikā. AZO tiek uzskatīts par alternatīvu dārgajam ITO. Joprojām nav pilnībā izprasta izgatavošanas parametru ietekme uz AZO kārtiņu īpašībām. Ir nepieciešams izgatavot arī kvalitatīvu p-tipa TCO. Šajā darbā ir izgatavotas n-tipa AZO un p-tipa Zn-Ir-O kārtiņas ar magnetrono izputināšanu. Kārtiņas tika raksturotas ar XRF, XRD, XAS, SEM, Ramana un FTIR spektroskopiju, Holla efektu, termoelektriskajiem mērījumiem un redzamās gaismas caurlaidību. Darbā ir nodemonstrēta strauja alumīnija koncentrācijas izmaiņa pie zemas skābekļa plūsmas. Al piemaisījumu elektriskā aktivācija un kārtiņas struktūra mainās atkarībā no i…