Morphologische Ergebnisse zur Anwendbarkeit eines gepulsten Kryptonfluorid-Excimerlasers im Rahmen der Schmelzkonditionierung

Trotz vieler Fortschritte auf dem Gebiet der Saure-Atz-Technik sind wesentliche Probleme bisher nicht gelost worden. Die Hauptaspekte dieses Problemkreises sind das nicht vorhersagbare Atzmuster, die unkontrollierbare Langzeittiefenwirkung sowie die Entstehung von Schmelzausrissen aufgrund einer nicht definierbaren Bruchflache bei Bracketabnahme. Ziel der vorliegenden Studie ist es, morphologische Ergebnisse der Schmelzkonditionierung bei Verwendung eines gepulsten Kryptonfluorid-Excimerlasers (248 nm) vorzustellen. Die rasterelektronenmikroskopische Untersuchung zeigte ein dem peripheren Saure-Atz-Tup ahnelndes Oberflachenrelief. Zeichen einer Hitzeentwicklung wurden nicht gefunden. Die An…