0000000001233286
AUTHOR
Ansis ĒCis
showing 2 related works from this author
Augsti jonizētas pulsējošas plazmas magnetrono izputināšanas procesu izstrāde volframa oksīdu plāno kārtiņu iegūšanai
2015
Elektrohromie materiāli spēj mainīt krāsu, elektrohromajai šūnai pieliekot elektrisko spriegumu. Šī īpašība ir ar plašu pielietojumu klāstu, piemēram, ēku energoefektivitātes uzlabošana, taču tie ir dārgi un daudzās jomās pagaidām ekonomiski neizdevīgi. Volframa trioksīda (WO3) plānās kārtiņas ir viens no visvairāk pētītajiem elektrohromajiem materiāliem. Darba mērķis bija izstrādāt augsti jonizētas pulsējošas plazmas magnetronās izputināšanas (HiPIMS) procesu volframa oksīdu plāno kārtiņu iegūšanai un salīdzināt tās ar plānajām kārtiņām, kas iegūtas ar līdzstrāvas magnetrona izputināšanas (DCMS) metodi. Izputināšanas režīms ietekmē gan izputināšanas ātrumu, gan plāno kāriņu elektrohromās ī…
Vakuumtehnoloģisko procesu izstrāde, izmantojot optiskās emisijas spektroskopijas metodi
2011
Bakalaura darbā ir aprakstīti eksperimenti ar līdzsrtāvas magnetrono izputināšanas metodi, kas kļūst arvien populārāka caurspīdīgu vadošu oksīdu (TCO) ražošanā. Ar plazmas optiskās emisijas spektroskopisko metodi ir atrasti optimālie apstākļi TCO (ZnO:Al) ar noteiktām elektriskām un optiskām īpašībām iegūšanai. Ir iegūtas augstas kvalitātes TCO plānas kārtiņas ar labām elektriskām un optiskām īpašībām. Izputināšanas process tika pētīts un kontrolēts izmantojot izputināšanas procesa voltampēru raksturlīkni un optiskās emisijas spektrālo līniju intensitāšu attiecību. Ir iegūti optimālie apstākļi magnetronās izputināšanas metodei – konstanta jauda un konkrēta gāzu plūsma. Procesa nestabilitāte…