Search results for "ELCUT"
showing 1 items of 1 documents
Magnētiskā lauka modelēšana planāra magnetrona gadījumā
2016
Magnetronputināšanas lielākais trūkums ir zemais mērķa materiāla izlietošanas koeficients. Lai palielinātu lietderību, ir jāpalielina plazmas zonas, to lielumu tieši ietekmē magnetrona magnētiskā lauka konfigurācija. Dažādu magnētiskā lauka konfigurāciju modelēšanā izmantota programma ELCUT. Ir atrasta magnētu konfigurācija, kas varētu palielināt magnetrona lietderības koeficientu. Darba ietvaros tika izstrādāta instrukcija magnētiskā lauka modelēšanai ar programmu ELCUT. Darbā tika pētīta magnētiskā lauka konfigurācija planārā magnetronā, mainot magnētu izvietojumu, kā arī salīdzināti reālu magnetronu magnētiskā lauka indukcijas mērījumi ar programmas ELCUT aprēķinātajām vērtībām. Programm…