6533b824fe1ef96bd1280e95

RESEARCH PRODUCT

Magnētiskā lauka modelēšana planāra magnetrona gadījumā

Jānis Tjarve

subject

Galīgo elementu metodeFizikaELCUTMagnētiskais lauksMagnetrons

description

Magnetronputināšanas lielākais trūkums ir zemais mērķa materiāla izlietošanas koeficients. Lai palielinātu lietderību, ir jāpalielina plazmas zonas, to lielumu tieši ietekmē magnetrona magnētiskā lauka konfigurācija. Dažādu magnētiskā lauka konfigurāciju modelēšanā izmantota programma ELCUT. Ir atrasta magnētu konfigurācija, kas varētu palielināt magnetrona lietderības koeficientu. Darba ietvaros tika izstrādāta instrukcija magnētiskā lauka modelēšanai ar programmu ELCUT. Darbā tika pētīta magnētiskā lauka konfigurācija planārā magnetronā, mainot magnētu izvietojumu, kā arī salīdzināti reālu magnetronu magnētiskā lauka indukcijas mērījumi ar programmas ELCUT aprēķinātajām vērtībām. Programmā ELCUT modelētie magnetronu modeļi izrādīja labu atbilstību reālajiem magnetroniem, tāpēc ELCUT var izmantot jaunu konfigurāciju magnetronu projektēšanā. Darbā ir 58 lappuses, 16 attēli, 7 tabulas un 2 pielikumi, izmantoti 20 literatūras avoti. Atslēgvārdi: ELCUT, magnetrons, magnētiskais lauks, galīgo elementu metode

https://dspace.lu.lv/dspace/handle/7/33466