Search results for "Magnetrons"
showing 2 items of 2 documents
Augsti jonizētas pulsējošas plazmas magnetrono izputināšanas procesu izstrāde volframa oksīdu plāno kārtiņu iegūšanai
2015
Elektrohromie materiāli spēj mainīt krāsu, elektrohromajai šūnai pieliekot elektrisko spriegumu. Šī īpašība ir ar plašu pielietojumu klāstu, piemēram, ēku energoefektivitātes uzlabošana, taču tie ir dārgi un daudzās jomās pagaidām ekonomiski neizdevīgi. Volframa trioksīda (WO3) plānās kārtiņas ir viens no visvairāk pētītajiem elektrohromajiem materiāliem. Darba mērķis bija izstrādāt augsti jonizētas pulsējošas plazmas magnetronās izputināšanas (HiPIMS) procesu volframa oksīdu plāno kārtiņu iegūšanai un salīdzināt tās ar plānajām kārtiņām, kas iegūtas ar līdzstrāvas magnetrona izputināšanas (DCMS) metodi. Izputināšanas režīms ietekmē gan izputināšanas ātrumu, gan plāno kāriņu elektrohromās ī…
Magnētiskā lauka modelēšana planāra magnetrona gadījumā
2016
Magnetronputināšanas lielākais trūkums ir zemais mērķa materiāla izlietošanas koeficients. Lai palielinātu lietderību, ir jāpalielina plazmas zonas, to lielumu tieši ietekmē magnetrona magnētiskā lauka konfigurācija. Dažādu magnētiskā lauka konfigurāciju modelēšanā izmantota programma ELCUT. Ir atrasta magnētu konfigurācija, kas varētu palielināt magnetrona lietderības koeficientu. Darba ietvaros tika izstrādāta instrukcija magnētiskā lauka modelēšanai ar programmu ELCUT. Darbā tika pētīta magnētiskā lauka konfigurācija planārā magnetronā, mainot magnētu izvietojumu, kā arī salīdzināti reālu magnetronu magnētiskā lauka indukcijas mērījumi ar programmas ELCUT aprēķinātajām vērtībām. Programm…